Dầu máy bơm hút chân không hiệu suất cao
NEOVAC được biết đến rộng rãi như một từ đồng nghĩa với dầu máy bơm hút chân không. Độ tin cậy cao về khả năng của nó đã dẫn đến việc nó được nhiều nhà sản xuất máy bơm chân không khuyến nghị là dầu được sử dụng. Nó được sử dụng trên thiết bị chân không cho chất bán dẫn, tấm silicon, lắng đọng hơi, xử lý nhiệt và đóng gói, và nó góp phần cải thiện năng suất.
- Dầu bơm hút chân không dựa trên gốc khoáng
- Dầu bơm hút chân không gốc tổng hợp
- Dầu bơm hút chân không loại đặc biệt
- Dầu bơm hút chân không tăng áp
- Dầu bơm hút chân không tăng áp cơ khí
- Dầu van trung tâm
Dầu bơm hút chân không dựa trên gốc khoáng
Dầu chân không trên máy bơm chân không được sử dụng để bôi trơn và duy trì độ kín khí. Điều quan trọng là nó phải có áp suất hơi thấp và độ nhớt thích hợp và khó tạo nhũ (nó có đặc tính chống tạo nhũ). Nói cách khác, nó phải dễ dàng tách khỏi nước và nó phải dễ dàng loại bỏ nước.
| Sản phẩm | Độ nhớt động lực mm2 / s (40 ℃) |
Điểm sáng | Màu (ASTM) |
Áp suất hóa hơi Pa (Torr) (50 ℃) |
Ứng dụng | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| MR-100 | 44 | 230 | L0,5 | 1,3 × 10-2 trở xuống (1 × 10-4) | Dầu tiêu chuẩn cho máy bơm nhỏ gọn. | |
| MR-200 | 71 | 256 | L0,5 | 1,3 × 10-3 trở xuống (1 × 10-5) | Dầu tiêu chuẩn phù hợp cho tất cả các máy bơm quay. | |
| MR-250 | 105 | 270 | L0,5 | 1,3 × 10-3 trở xuống (1 × 10-5) | Dầu tiêu chuẩn cho máy bơm lớn. | |
| ST-200 | 76 | 252 | L2.0 | 1,3 × 10-2 trở xuống (1 × 10-4) | Sản phẩm có khả năng phân tán bùn được cải thiện, khả năng chịu nhiệt và tính chất oxy hóa (không hỗ trợ hút ẩm) | |
| MR-200A | 71 | 256 | L0,5 | 1,3 × 10-3 trở xuống (1 × 10-5) | Dầu có khả năng chịu nhiệt và đặc tính oxy hóa được cải thiện từ MR-200, mặt hàng hỗ trợ hút ẩm. | |
| MR-250A | 105 | 270 | L0,5 | 1,3 × 10-3 trở xuống (1 × 10-5) | Dầu có khả năng chịu nhiệt và đặc tính oxy hóa được cải thiện từ MR-250, mặt hàng hỗ trợ hút ẩm (dành cho máy bơm lớn) |
Dầu bơm hút chân không gốc tổng hợp
Các loại dầu này chứng tỏ khả năng chịu nhiệt và chống oxy hóa tốt hơn so với dầu máy bơm hút chân không có nguồn gốc từ gốc khoáng. Chúng thích hợp cho các ứng dụng đặc biệt trong môi trường sử dụng khắc nghiệt, chẳng hạn như trong ngành công nghiệp điện tử, ngành thiết bị vật lý và hóa học và ngành công nghiệp điện hạt nhân.
| Sản phẩm | Độ nhớt động lực mm2 / s (40 ℃) |
Điểm sáng | Màu (ASTM) |
Áp suất hóa hơi Pa (Torr) (50 ℃) |
Ứng dụng | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| SO-M | 64 | 264 | L0,5 | 4 × 10-4 trở xuống (3 × 10-6) | Dầu có khả năng chống khí phản ứng tuyệt vời. | |
| SO-H | 95 | 285 | L0,5 | 4 × 10-5 trở xuống (3 × 10-7) | Dầu có độ nhớt cao của SO-M (dành cho máy bơm lớn) | |
| SA-L | 32 | 240 | L0,5 | 4 × 10-4 trở xuống (3 × 10-6) | Dầu có độ nhớt thấp của SA-M (dành cho máy bơm nhỏ gọn) | |
| đến m | 64 | 260 | L0,5 | 4 × 10-4 trở xuống (3 × 10-6) | Dầu có có độ ổn định oxy hóa được cải thiện từ SO-M. | |
| SA-H | 95 | 280 | L0,5 | 4 × 10-5 trở xuống (3 × 10-7) | Dầu có độ ổn định oxy hóa được cải thiện từ SO-H (đối với máy bơm lớn) |
Dầu bơm hút chân không loại đặc biệt
Ngay cả khi bột mịn hoặc các sản phẩm phản ứng bị trộn lẫn vào các loại dầu này, sự gia tăng độ nhớt của dầu có thể bị ngăn chặn và tần suất thay dầu có thể giảm. Đây là loại dầu máy bơm hút chân không đặc biệt thích hợp cho các quy trình sản xuất chất bán dẫn.
| Sản phẩm | Độ nhớt động lực mm2 / s (40 ℃) |
Điểm sáng | Màu (ASTM) |
Áp suất hóa hơi Pa (Torr) (50 ℃) |
Ứng dụng | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| DR-M | 70 | 234 | L1,5 | 1,3 × 10-2 trở xuống (1 × 10-4) | Dùng cho CVD áp suất thấp. Cho thấy hiệu quả giảm độ nhớt tuyệt vời. | |
| ĐẾN | 38 | 254 | L2,5 | 6,5 × 10-2 trở xuống (5 × 10-4) | Dùng cho thiết bị đo môi trường. Điều này có khả năng chịu nhiệt và chống oxy hóa tuyệt vời. |
Dầu bơm hút chân không của bơm khuếch tán dầu
Dầu chân không của bơm khuếch tán được phun ở trạng thái phân tử hoặc ở dạng hơi và được sử dụng để có được trạng thái chân không. Yêu cầu là nó phải ổn định về mặt hóa học, chẳng hạn như có áp suất hơi thấp, không bị suy giảm do nhiệt (khả năng chịu nhiệt) và không dễ phản ứng với oxy (chống oxy hóa).
| Sản phẩm | Độ nhớt động lực mm2 / s (40 ℃) |
Trọng lượng phân tử trung bình | Điểm sáng | Áp suất hóa hơi Pa (Torr) (50 ℃) |
Áp suất cuối cùng Pa (Torr) |
Ứng dụng | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SX | 22 | Khoảng 394 | 235 | 7 × 10-6 trở xuống (5 × 10-8) | 1,3 × 10-5 trở xuống (1 × 10-7) | Dùng cho thiết bị xử lý bề mặt (lắng đọng hơi, phun trào, xử lý nhiệt) | |
| CỦA ANH ẤY | 26 | Khoảng 422 | 240 | 1,3 × 10-6 trở xuống (1 × 10-8) | 6,6 × 10-6 trở xuống (5 × 10-8) | Dùng cho thiết bị xử lý bề mặt (lắng đọng hơi, phun trào, xử lý nhiệt) |
| Sản phẩm | Độ nhớt động lực mm2 / s (40 ℃) |
Trọng lượng phân tử trung bình | Điểm sáng | Áp suất hóa hơi Pa (Torr) (50 ℃) |
Áp suất cuối cùng Pa (Torr) |
Ứng dụng |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 54 | 290 | Khoảng 446 | 300 | 7 × 10-9 trở xuống (5 × 10-11) | 1,3 × 10-8 trở xuống (1 × 10-10) | Dùng cho thiết bị phân tích chính xác như kính hiển vi điện tử và khối phổ kế |
Dầu bơm hút chân không tăng áp
Giống như máy bơm khuếch tán dầu, máy bơm tăng áp là một loại máy bơm phun hơi. Chúng được sử dụng để phun dầu dưới dạng hơi. Các loại dầu này phải có áp suất hơi thấp và tốc độ bơm cao. Dầu chân không cũng được yêu cầu phải có độ ổn định cao về khả năng chịu nhiệt và chống oxy hóa.
| Sản phẩm | Độ nhớt động lực mm2 / s (40 ℃) |
Trọng lượng phân tử trung bình | Điểm sáng | Áp suất hóa hơi Pa (Torr) (50 ℃) |
Ứng dụng | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ME-250 | 13 | 260～270 | 188 | 1,3 × 10-2 trở xuống (1 × 10-4) | Dùng cho thiết bị xử lý bề mặt (lắng đọng hơi, phun trào, xử lý nhiệt) | |
| DB-12 | 24 | 330～340 | 212 | 6,7 × 10-4 trở xuống (5 × 10-6) | Dùng cho thiết bị xử lý bề mặt (lắng đọng hơi, phun trào) |
Dầu bơm hút chân không tăng áp cơ khí
Đây là những máy bơm hút chân không giúp tăng tốc độ dòng chảy giống như bộ tăng áp trên động cơ ô tô. Dầu chân không được sử dụng trên bộ tăng cơ để bôi trơn các ổ trục và duy trì độ kín khí. Dầu này được yêu cầu phải có áp suất hơi thấp và khả năng bôi trơn tuyệt vời, và phải ổn định về mặt hóa học đối với các khía cạnh như khả năng chịu nhiệt và chống oxy hóa.
| Sản phẩm | Độ nhớt động lực mm2 / s (40 ℃) |
Điểm sáng | Màu (ASTM) |
Áp suất hóa hơi Pa (Torr) (50 ℃) |
Ứng dụng |
|---|---|---|---|---|---|
| EP-83 | 84 | 260 | L1.0 | 1,3 × 10-3 trở xuống (1 × 10-5) | dầu bôi trơn cho bộ phận bánh răng của máy bơm tăng áp cơ khí. |
Dầu van trung tâm
Van trung tâm được sử dụng làm bộ phận quay trên thiết bị sản xuất bóng đèn. Dầu van trung tâm được sử dụng để bôi trơn bề mặt bôi trơn của nó và duy trì độ kín khí. Dầu này được yêu cầu phải có áp suất hơi thấp và khả năng bôi trơn tuyệt vời, và phải ổn định về mặt hóa học đối với các khía cạnh như khả năng chịu nhiệt và chống oxy hóa.
| Sản phẩm | Độ nhớt động lực mm2 / s (40 ℃) |
Điểm sáng | Áp suất hóa hơi Pa (Torr) (50 ℃) |
Ứng dụng | |
|---|---|---|---|---|---|
| MC-400 | 160 | 280 | 1,3 × 10-4 trở xuống (1 × 10-6) | Để bôi trơn van trung tâm trên thiết bị sản xuất bóng đèn và bóng đèn huỳnh quang | |
| MC-600 | 250 | 298 | 1,3 × 10-4 trở xuống (1 × 10-6) | Để bôi trơn van trung tâm trên thiết bị sản xuất bóng đèn và bóng đèn huỳnh quang | |
| MC-1000 | 430 | 320 | 1,3 × 10-4 trở xuống (1 × 10-6) | Để bôi trơn van trung tâm trên thiết bị sản xuất bóng đèn và bóng đèn huỳnh quang |
